Compuestos FKM: Sellos de Ultra-Pure para Procesos Húmedos en Semiconductores
El impulso de la industria de semiconductores hacia geometrías más pequeñas y mayores densidades de transistores crea puntos de presión en toda la cadena de fabricación, pero los equipos de proceso húmedo suelen absorber la mayor parte del castigo. Los sistemas de entrega de productos químicos, cámaras de grabado y estaciones de limpieza dependen de sellos…
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