Комплексы FKM: ультра-чистые уплотнения для влажных процессов в полупроводниковой промышленности
Стремление полупроводниковой промышленности к уменьшению размеров и увеличению плотности транзисторов создает точки напряжения по всей производственной цепочке, но оборудование для влажной обработки часто подвергается наибольшим нагрузкам. Системы подачи химикатов, травильные камеры и моечные станции — все они полагаются на уплотнения…
